今回はフィルタードアーク装置（※以後ＦＡＤ装置）と、
これで得られるｔａ―Ｃ（水素フリー）DLC膜「AC-X」、「AC-X・W」、「AC-X・X」の説明をします。

ＦＡＤ装置

下図はＦＡＤ装置を上部から見たものです。 ...