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前回までは、セラミック系膜（ＴｉＮ、ＴｉＡｌＮ）の成膜方法の説明をしましたが、
　＜過去記事＞HCD　TiN（ホロカソード　ティーアイエヌ）コーティングの話
　＜過去記事＞ARC　TiAlN（アーク　ティーアイエーエル ...